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《Defect》半导体缺陷管理三件事：如何停线止损、快速定位缺陷根源、分析缺陷趋势
导读
这篇内容围绕半导体缺陷管理展开，介绍半导体缺陷是晶圆上的疤痕，如颗粒造成的短路、断线，刻蚀不均的疤痕等，还讲解半导体缺陷管理的三件事：停线止损、快速定位缺陷根源、分析缺陷趋势。
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